微纳智造，无“微”不至！苏州大学两项微纳技术入选“2022中国智能制造十大科技进展”

　　上证报中国证券网讯（记者 仲茜）方寸之间，微纳机器人可以实现厘米级行程、纳米级定位；利用米级幅面微纳结构智能制造技术，显示产业可建成大尺寸高性能电容触控屏绿色产线……

　　在刚刚闭幕的2022世界智能制造大会上，“2022中国智能制造十大科技进展”正式公布，由苏州大学科研团队领衔研发的“微纳机器人关键技术与应用”和“基于数字化三维光刻的微纳智能制造与应用”两项成果成功入选。上证报记者了解到，这两项技术进展不仅解决了微纳智能制造领域的多个技术难题，还为提升产业创新发展、提高企业生产效率和竞争力贡献重要力量。

　　微纳机器人体积小、功效大、应用广

　　什么是微纳机器人？苏州大学机电工程学院教授、“微纳机器人关键技术与应用”项目负责人孙立宁介绍，微纳机器人是指尺寸在微纳米级别的可对微纳空间进行操作的功能器件，以及能够处理微纳米尺寸部件的机器人。“它的最大特点，就是操作尺度小，小到尺度为毫米、微米、纳米量级的零部件都能精准操控。”

　　此次成果入选“2022中国智能制造十大科技进展”，是因为团队提出了基于尺蠖、粘滑、宏微双重驱动的跨尺度柔顺精密定位机构设计与驱控理论，创新研究多自由度并联微动机构、宏微双重驱动并联机构，实现了微纳机器人厘米级行程、纳米级定位精度。

　　上证报记者了解到，孙立宁教授潜心微纳机器人前沿研究与技术探索近30年，是微纳智能制造装备领域的研发者、推动者、领军者，曾多次获得国家科技领域奖项。他较早在国内开展医用机器人研究，所研制的腹腔镜手术机器人代表了中国医学手术机器人最高水平。与此同时，他不断拓展微纳机器人的边界与未来，多学科交叉融合，取得多项前沿技术重大进展。此次，他和团队的最新研成果再次获得肯定。

　　据介绍，团队研发出表界面纳米力学宽频域动态测试力学方法，创新研究高频、宽模量测量难题，并研究跨尺度、多介质、多维异质纳米结构间粘着机制，突破微观尺度下精准操控的难题。同时，团队还提出多能场耦合微纳机器人驱动，构建场控微纳机器人的群体控制方法，在研究微纳制造三维组装、纳米互连、原位检测关键技术方面取得主要进展，研发AFM与SEM纳米操作机器人系统，为微纳制造与生命科学提供支持。

　　要知道，微纳机器人虽然体积小，但功能却十分强大。凭借在微纳尺度上优异的灵活性、适应性，微纳机器人已在生物医学、微纳制造和军事等领域被广泛应用。大会评委会表示，孙立宁教授团队的最新研发技术，对该领域的前沿技术支撑与产业化推进具有重要现实意义。

　　微纳技术将超薄导光器件制造率提升数倍

　　“基于数字化三维光刻的微纳智能制造与应用”则是由苏州大学光电科学与工程学院陈林森研究员带领团队完成的，该成果实现了米级幅面微纳结构的高效与高精度兼容性制造，可开展大面积海量数据算法、三维计算光刻、纳米增材制造和新颖光子特性数字设计等技术突破与创新。

　　据介绍，团队面向柔性光电子和新型显示领域，先后成功研制110吋数字化紫外三维光刻设备，解决大面积微纳模具制备难题；成功研发出可支持10.5代显示面板的柔性透明导电材料自动产线与增材制程，建成显示产业大尺寸高性能电容触控屏先进绿色产线。同时，在基于非对称微结构和双面高保真微纳压印制造方面，团队的创新技术使得超薄导光器件的制造效率提升数倍、显示光效显著提升，能源节约效果显著。

　　当天会上，陈林森研究员就该成果做开场专题报告并参与高端对话环节，指出微纳智能制造是光子产业创新发展的基石技术，大幅面微纳结构数字设计与精确制备是信息光子产业发展的底层技术。

　　此次苏州大学科研团队能够在“2022中国智能制造十大科技进展”评选中“独中两元”，与近年来苏州大学坚持推进产学研深度融合、主动服务国家创新驱动发展战略分不开。据介绍，拥有122年办学历史的苏州大学始终坚持“守正创新、传承发展”，深入实施新时代人才强校战略，积极应对新一轮科技革命和产业变革，强化多学科交叉融合发展，不断探索新工科建设发展新路径，推进一体化科技创新，近年来取得了一系列重大科技成果。校方表示，两位教授取得的成果和荣誉，必将激励全校师生凝心聚力，踔厉奋发，为我国“高水平科技自立自强”贡献更多苏大力量。