工业和信息化部就《半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见-新闻-上海证券报·中国证券网

　　上证报中国证券网讯据工业和信息化部11月16日消息，根据标准化工作的总体安排，现将申请立项的《半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版项目和《环境污染防治设备术语》等38项推荐性国家标准计划项目予以公示，截止日期为2023年12月16日。

《环境污染防治设备术语》等38项推荐性国家标准制修订计划（征求意见稿）.doc

《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版计划（征求意见稿）.doc